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　　氦檢漏儀維修是一個專業且細致的過程，需要對設備的結構和工作原理有深入的了解。

　　

　　一、機械泵故障處理

　　

　　1、不動作問題：檢查電源電壓、開關狀態、繞組是否斷路或接地，以及電機是否過熱。

　　

　　2、聲音異常問題：檢查油位、油質和油溫，確保油霧過濾器正常工作。

　　

　　二、分子泵故障處理

　　

　　1、TMP顯示“0”：檢查前級壓力、真空規管、機械泵油和系統泄漏情況，以及葉片或轉子是否損壞。

　　

　　2、加速指示燈不亮：更換保險絲或檢查是否有短路現象。

　　

　　3、故障燈亮：檢查電路板設置開關位置和風扇運行狀態。

　　

　　三、質譜室故障處理

　　

　　1、燈絲無法啟動：在確認機械泵和分子泵正常工作后，若燈絲仍無法發射離子流，則需更換離子源。

　　

　　2、本底信號異常：考慮放大器是否故障，通常用戶無法解決，需交由專業維修處理。

　　

　　四、檢測開始時故障處理

　　

　　檢漏鍵無效：檢查燈絲是否啟動，以及I/O短接插頭是否正確連接。

　　

　　五、自動校準結束故障處理

　　

　　自動校準失敗：檢查自動校準設置、溫度傳感器連接和靈敏度，必要時清洗質譜室。

　　

　　六、檢漏時故障處理

　　

　　1、不轉換至細檢方式：檢查檢漏口壓力和粗檢指示燈狀態。

　　

　　2、靈敏度低：檢查三極規所測壓力和離子源污染情況。

　　

　　3、氦本底太高：檢查機械泵油、系統泄漏、真空管路污染和環境因素。

　　

　　總的來說，氦檢漏儀維修是一個涉及多個方面的復雜過程，需要專業知識和技術。通過正確的故障診斷和專業的維修服務，可以有效恢復設備的功能，延長使用壽命。用戶在選擇維修服務時，應考慮服務商的專業性和服務質量，以確保設備的穩定可靠運行。